有限要素法による真空排気シミュレータ

書誌事項

タイトル別名
  • Simulator for vacuum system by FEM.
  • ユウゲン ヨウソホウ ニ ヨル シンクウ ハイキ シミュレータ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 30 (5), 420-424, 1987

    一般社団法人 日本真空学会

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