発光分光法を用いた窒素プラズマによるガラス状炭素の表面改質機構の解明

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タイトル別名
  • Analysis of the Plasma Surface Modification Mechanism by Using the Plasma Diagnosis.
  • ハッコウ ブンコウホウ オ モチイタ チッソ プラズマ ニヨル ガラスジョウ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 40 (5), 442-445, 1997

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (8)*注記

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