減圧ＣＶＤ装置の現状と技術的課題

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タイトル別名
  • Status quo of low pressure CVD equipment and its technological problems.
  • ゲンアツ CVD ソウチ ノ ゲンジョウ ト ギジュツテキ カダイ

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記事分類: 化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--非金属元素・非金属化合物--セラミックス

収録刊行物

  • 真空

    真空 28 (3), 113-118, 1985

    一般社団法人 日本真空学会

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