大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ

書誌事項

タイトル別名
  • Large Aluminum Alloy TMP
  • オオガタ アルミニウム ゴウキンセイ ターボ ブンシ ポンプ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 真空

    真空 27 (5), 429-432, 1984

    一般社団法人 日本真空学会

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ