高分解能ラザフォード後方散乱分光法（高分解能ＲＢＳ）を用いた界面近傍の格子ひずみ測定

DOI Web Site 参考文献23件
  • 中嶋 薫
    京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
  • 鈴木 基史
    京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻
  • 木村 健二
    京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Observation of Lattice Strain near Interface using High-Resolution RBS
  • コウ ブンカイノウ ラザフォード コウホウ サンラン ブンコウホウ コウ ブンカイノウ RBS オ モチイタ カイメン キンボウ ノ コウシ ヒズミ ソクテイ

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収録刊行物

  • 真空

    真空 49 (5), 286-289, 2006

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献 (23)*注記

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