Negative-Ion Production of Gas Material in RF-Plasma Sputter-Type Heavy Negative-Ion Source.

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  • 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
  • コウシュウハ プラズマ スパッタガタ フジュウ イオンゲン ニ オケル キタイ

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  • Shinku

    Shinku 38 (3), 218-220, 1995

    The Vacuum Society of Japan

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