書誌事項
- タイトル別名
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- Negative-Ion Production of Gas Material in RF-Plasma Sputter-Type Heavy Negative-Ion Source.
- コウシュウハ プラズマ スパッタガタ フジュウ イオンゲン ニ オケル キタイ
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収録刊行物
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- 真空
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真空 38 (3), 218-220, 1995
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679042002560
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- NII論文ID
- 10001698536
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- NII書誌ID
- AN00119871
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- ISSN
- 18809413
- 05598516
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- NDL書誌ID
- 3612169
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles