７０ｍｍコンフラットフランジマウント型加熱冷却機構付きシリコン単結晶ホルダー

DOI Web Site 被引用文献5件 参考文献12件
  • 小林 英一
    高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所 独立行政法人 産業技術総合研究所固体高分子形燃料電池先端基盤研究センター
  • 南部 英
    高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所 ブルックヘブン国立研究所
  • 垣内 拓大
    総合研究大学院大学
  • 間瀬 一彦
    高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所 総合研究大学院大学 科学技術振興機構さきがけ

書誌事項

タイトル別名
  • Silicon Single Crystal Wafer Holder with a Cold Trap and a Direct Current Heating Mechanism Mounted on a Conflat Flange with an Outer Diameter of 70 mm
  • 70mm コンフラットフランジマウントガタ カネツ レイキャク キコウ ツキ シリコンタンケッショウ ホルダー

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説明

  We introduce a silicon single crystal wafer holder with a cold trap and a direct current heating mechanism mounted on a conflat flange with an outer diameter of 70 mm. It consists of 300-ml cold trap, tantalum electrodes for direct-current heating and commercial electrical feedthroughs. A silicon single crystal with a size of 30×5×0.5 mm can be heated to >1100 °C by direct heating, and can be cooled down to <100 K with liquid nitrogen.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 50 (1), 57-59, 2007

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (5)*注記

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参考文献 (12)*注記

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