真空利用プロセスの診断と制御　　最近の進展　　プロセスガスの排気と環境管理　　省エネ・プロセスガスのリサイクル

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390282679042165632

• NII論文ID

  10007389607

• NII書誌ID

  AN00119871

• DOI

  10.3131/jvsj.44.639

• ISSN

  18809413

  05598516

• NDL書誌ID

  5884437

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/5884437

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5884437

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles