スーパーコネクト技術　　ウェーハレベル３次元集積化技術

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390282679090313984

• NII論文ID

  10008222280

• NII書誌ID

  AN1005202X

• DOI

  10.4139/sfj.53.228

• COI

  1:CAS:528:DC%2BD38XksVWnurY%3D

• ISSN

  18843409

  09151869

  http://id.crossref.org/issn/09151869

• NDL書誌ID

  6143947

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/6143947

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6143947

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • NDLサーチ
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • OpenAIRE