The Latest ITO Technology Innovating LCD Processes. Dry Etching of ITO Film and Patterning Technology.
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- BAN Atsushi
- Sharp Corp. LCD Development Group LCD Lab.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 液晶プロセスを変革する透明導電膜の新技術 ＩＴＯドライエッチングとパターニング技術
- ITO ドライエッチング ト パターニング ギジュツ
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Journal
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- Journal of The Surface Finishing Society of Japan
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Journal of The Surface Finishing Society of Japan 50 (9), 786-790, 1999
The Surface Finishing Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282679092370816
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- NII Article ID
- 10006252252
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- NII Book ID
- AN1005202X
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- ISSN
- 18843409
- 09151869
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- NDL BIB ID
- 4853162
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL Search
- Crossref
- CiNii Articles
