マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用  ULSI配線技術の動向

書誌事項

タイトル別名
  • Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. ULSI Interconnect Technology Trend.
  • ULSI ハイセン ギジュツ ノ ドウコウ

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収録刊行物

  • 表面技術

    表面技術 48 (11), 1050-1053, 1997

    一般社団法人 表面技術協会

参考文献 (14)*注記

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