Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics

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  • B/C/N系セラミックスの応用としての静電チャック
  • レンサイ コウザ B C Nケイ セラミックス ノ オウヨウ ト シテ ノ セイデンチャック

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  • TANSO

    TANSO 2007 (226), 48-54, 2007

    THE CARBON SOCIETY OF JAPAN

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