B/C/N系セラミックスの応用としての静電チャック

DOI Web Site 被引用文献4件 参考文献6件
  • 藤井 清利
    GEスペシャルティ・マテリアルズ・ジャパン (株) 上月工場

書誌事項

タイトル別名
  • Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics
  • レンサイ コウザ B C Nケイ セラミックス ノ オウヨウ ト シテ ノ セイデンチャック

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収録刊行物

  • 炭素

    炭素 2007 (226), 48-54, 2007

    炭素材料学会

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