シリコンセンサ・MEMSの現状と将来

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タイトル別名
  • Status and Future of Silicon Sensors and MEMS
  • 特別招待講演 シリコンセンサ・ MEMS の現状と将来
  • トクベツ ショウタイ コウエン シリコン センサ MEMS ノ ゲンジョウ ト ショウライ

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抄録

シリコンセンサやMEMS(微小電気機械システム)がシリコンマイクロマシニングによって実現され、システムの鍵を握る部分に用いられている。マイクロアクチュエータが分布し蛇のように動く能動カテーテルや、その先端k超音波イメージャなどを開発した。深いRIE(反応性イオンエッチング)およびXeF_2によるシリコンエッチングを応用して高精度なマイクロマシニングを行っている。微細加工したシリコンを鋳型にして燒結する、セラミック微細構造体の製作方法を開発した。高性能ジャイロを目的として静電浮上型のマイクロモータを実現した。容量型のAFM(原子間力顕微鏡)/SNOM(走査型近接場光顕微鏡)用プローブ、極端に小さな突起を製作するナノマシニング、ナノパターンを転写するための近接場光リソグラフィを開発した。

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