GaNのドライエッチング技術

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • Dry etching of Gan

収録刊行物

  • 応用物理

    応用物理 69 (11), 1337-1338, 2000

    公益社団法人 応用物理学会

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282679573088512
  • NII論文ID
    130003594087
  • DOI
    10.11470/oubutsu1932.69.1337
  • COI
    1:CAS:528:DC%2BD3cXotFers70%3D
  • ISSN
    21882290
    03698009
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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