窒素化合物のもたらす新素材　３　　超硬質ＴｉＮ膜の特性と応用

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タイトル別名
  • New and Promising Materials from Nitride Compounds. 3. Properties and applications of Super Hard TiN Films.
  • 3 チョウ コウシツ TiN マク ノ トクセイ ト オウヨウ

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収録刊行物

  • 電気学会誌

    電気学会誌 119 (12), 749-751, 1999

    一般社団法人 電気学会

参考文献 (11)*注記

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