ＳＴＭを用いた超精密角度センサ　（第２報）　原子頂点の追跡とヨーイング測定

DOI Web Site 参考文献8件

書誌事項

タイトル別名
  • Angle Sensor with STM. (2nd Report). Atom Tracking and Yaw Measurement.
  • STM オ モチイタ チョウ セイミツ カクド センサ ダイ 2ホウ ゲンシ
  • -Atom Tracking and Yaw Measurement-
  • -原子頂点の追跡とヨーイング測定-

この論文をさがす

抄録

In the previous report, the authors proposed a new type of angle sensor with three tracking STM tips, which offers a real-time measurement of pitch, roll and yaw with nano-radian resolution. The purpose of this paper is to describe an atom tracking to measure yaw. The fundamental experiment, in which one tip tracks an atom peak of graphite, shows that the tip searches the atom peak by tip rotation with the radius of less than 0.1 nm. Yaw is measured with nano-radian resolution by having the tip track the atom peak.

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 63 (6), 807-811, 1997

    公益社団法人 精密工学会

参考文献 (8)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ