Surface testing for electronic industry.

DOI Web Site 1 Citations

Bibliographic Information

Other Title
  • エレクトロニクス産業関連の欠陥検査
  • エレクトロニクス サンギョウ カンレン ノ ケッカン ケンサ
Published
1987
DOI
  • 10.2493/jjspe.53.1158
Publisher
The Japan Society for Precision Engineering

Search this article

Description

表面欠陥検査はまだ人手に頼る場合が多い.しかしエレクトロニクス産業における欠陥検査のように,広い面積の中の微小欠陥検出においては,肉眼作業の疲労の問題から,レーザを用いた方法が使われ始めている.<BR>ここでは,パターンのある表面の検査に的を絞り,各種方法を紹介した.ハイテク産業の発展とともに,今後ますます欠陥検出感度向上の必要性が高まるものと思われる.

Journal

Citations (1)*help

See more

Keywords

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top