書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a Method for Multi-Surface Interferometry by a Wavelength Scanning Interferometer
- ハチョウ ソウサ カンショウケイ ニ ヨル タメン カンショウ ケイソク シュホウ ノ カイハツ
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説明
波長走査干渉計にて, 任意の高調波信号の位相を検出可能であり, 波長走査の非線形性などによる周波数変調誤差に対する補償能力を有する位相検出アルゴリズムを開発した. これにより, 複数の透明で両面が平行な層からなる積層試料の, 各界面の形状と各層の光学的厚さ変動を, 不確かさ1/10以下で同時に測定可能であることを示した.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 71 (5), 579-583, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680257143936
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- NII論文ID
- 10015529649
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7350458
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
