書誌事項
- タイトル別名
-
- A Practical Method for Compensating Surface Inclination Effect on Optical Stylus Profile Measurement
- ヒカリショクシンシキ リンカク ソクテイ ニ オケル ケイシャ ソクテイ ゴサ ノ ホセイホウ
この論文をさがす
抄録
光触針輪郭測定において, 予期しない突発なピークノイズや高周波ノイズなどの測定誤差が生じる. この誤差は, 加工方法によっては非常に大きく, この影響を除去する強い要求があった. この主な原因はスペックル誤差と測定面の傾斜誤差である. スペックル誤差の低減については既報で詳しく報告した. 本研究では, 測定面の傾斜が測定値に与える影響を定量的に明らかにした. さらに, スペックル誤差補正システムと同構成の測定システムを用いて, 傾斜誤差の補正を試みた. その結果, 全方向の傾斜において, 限界傾斜角に近い所でも測定誤差を大幅に低減することができた.
収録刊行物
-
- 精密工学会誌論文集
-
精密工学会誌論文集 71 (5), 590-594, 2005
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390282680257145472
-
- NII論文ID
- 10015529669
-
- NII書誌ID
- AA11966630
-
- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
-
- NDL書誌ID
- 7350481
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可