医療用ダイアモンド状炭素（DLC）成膜に最適な大電力パルスマグネトロンスパッタ（HiPIMS）用パルス電源の開発

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タイトル別名
  • Development of Pulse Power Supplies as High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) Equipment Components for Medical Diamond Like Carbon (DLC) Film Fabrication Processes
  • イリョウヨウ ダイアモンドジョウ タンソ(DLC)セイマク ニ サイテキ ナ ダイ デンリョク パルスマグネトロンスパッタ(HiPIMS)ヨウ パルス デンゲン ノ カイハツ

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