塩化第二鉄溶液による銅のウェットエッチングに関するスプレー実験
書誌事項
- タイトル別名
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- Experiment of wet-etching with spry nozzle for copper in ferric chloride solution
抄録
これまで、代表的な乱流場である攪拌槽でのウェットエッチングを行ってきたが、実操業ではスプレーノズルを用いて強い乱流場でエッチングを行っている。そこで、スプレーノズルを用いて塩化第二鉄溶液による銅のエッチングを行った。流量、液温などの条件を変化させエッチング速度、見かけの活性化エネルギー、キャビテイ形状などに対する影響について考察を行った。
収録刊行物
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- エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集
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エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 18 (0), 177-178, 2004
一般社団法人エレクトロニクス実装学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680530964992
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- NII論文ID
- 130005010682
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可