超精密加工機におけるレーザ測長誤差低減のための環境補正装置の高精度化

DOI
  • 足立 和俊
    大阪府立産業技術総合研究所　機械金属部　加工成形系
  • 山口 勝己
    大阪府立産業技術総合研究所　機械金属部　加工成形系
  • 本田 索郎
    大阪府立産業技術総合研究所　機械金属部　加工成形系
  • 村田 一夫
    大阪府立産業技術総合研究所　機械金属部　加工成形系
  • 岩井 英樹
    豊田工機　研究開発センター　研究開発部　先端システム開発室
  • 高見 信敬
    山本光学　技術開発部　技術開発課
  • 島田 尚一
    大阪電気通信大学　工学部　機械工学科
  • 井川 直哉
    大阪大学　名誉教授

書誌事項

タイトル別名
  • Improvement of Atmospheric Compensator to Reduce the Laser Measurement Error for Ultra-Precision Machine Tools

説明

これまでに、空気屈折率変化に基づくレーザ測長誤差を低減できる環境補正装置を試作し、超精密加工機の位置決め精度が向上することを実証した。<br>本報では、さらに性能を高めるために、加工機に組み込まれたレーザ干渉計の原位置長さ(光路上のデッドパスに相当)に注目し、原位置長さの設定値と真値との差異が測長誤差に及ぼす影響を検討した。さらに真の原位置長さを推定するための実験を行い、得られた値を用いて装置の高精度化を図った。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680625202944
  • NII論文ID
    130004656966
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005a.0.429.0
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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