空間フィルタリングを用いた欠陥検査技術
書誌事項
- タイトル別名
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- Defect Inspection Technology Using Spatial Filtering
抄録
半導体ウェハや液晶パネルのように素子の繰返しによって構成される製品は，空間フィルタリングによって高感度で検査が可能である。空間フィルタリングとはレンズのフーリエ変換作用を利用し，素子の繰返しパターンからの回折光を周波数領域でフィルタリングをする技術である。今回バネとエッチングプレートを使って高精度な機械式空間フィルタリング装置を作成したので報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003S (0), 815-815, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680626738688
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- NII論文ID
- 130004655385
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可