ポリシングパッド表面の微視的・巨視的性状に及ぼすコンディショニングの効果

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書誌事項

タイトル別名
  • Effect of Conditioning Process on Polishing Pad Surface Texture
  • In-plane Micro-Deformation Distribution Characteristics of Pad Surface Texture and Contact Conditions among Pad Groove
  • パッド表面の微小面内変位特性と溝近傍におけるコンタクト解析

抄録

本研究では，コンディショニングがポリシングパッドに及ぼす影響の解明を目的に，パッド表面状態の微視的，並びに巨視的な評価手法を提案し，現在までに各種検討を行っている．本報告では，IC1000を検討対象として，デジタル画像相関法を用いたパッド表面の微小変形特性の評価，並びに接触画像解析法を用いたパッド溝近傍におけるコンタクト状態の評価を行った結果を述べる．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680630781312
  • NII論文ID
    130005031458
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.821.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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