ダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究

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タイトル別名

Development of Evaluation Method for Geometrical Characterization of Polishing Pad Surface Texture Based on Contact Image Analysis Using Image Rotation Prism
Effect of Serial Batch Polishing Tests on Polishing Pad Surface Texture and Polishing Characteristics
連続バッチ研磨がパッド表面性状並びに研磨特性に及ぼす影響

本研究ではダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の確立を目的とし，接触率や空間FFT等を評価パラメータとして提案している．本報告では連続バッチ研磨がパッド表面性状，並びに研磨特性に及ぼす影響について検討した結果を述べる．