数値制御ローカルウェットエッチングにおける加工精度の向上に関する研究　第Ⅱ報

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  • ラマン分光法によるフッ化水素酸濃度測定の高精度化

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数値制御ローカルウェットエッチングは、被加工物とエッチャントの化学反応を利用した加工法であり、そのエッチングレートはエッチャントの濃度と温度に依存する。本手法の加工精度向上には、エッチングレートのin situ測定が必要である。ラマン分光法による濃度測定において誤差の要因となるレーザー光強度変動を、サファイア由来のスペクトル強度で補正することにより、フッ化水素酸濃度を誤差0.23 wt％で測定することに成功した。

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  • CRID
    1390282680631730432
  • NII Article ID
    130005031762
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2013s.0.367.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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