加工環境制御可能なBell-Jar型CMP装置による難加工材料の研磨特性

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抄録

本研究では，研磨装置全体を耐圧密閉チャンバーで覆った加工雰囲気を制御可能なBell-Jar型CMP装置を用いて難加工材料（サファイア，GaN）の加工を行い，加工メカニズムを追求しつつ雰囲気の影響に着目して高加工レート，良加工面が得られる加工条件を見出すことを目的としている．本報では，耐圧密閉チャンバー内の雰囲気の性質（気体種，気圧）が加工レートに及ぼす影響について検討した．

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  • CRID
    1390282680631846912
  • NII論文ID
    130004660940
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012a.0.81.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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