Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface

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  • 研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究

Abstract

昨今のハードディスクドライブ（HDD）の市場拡大にともない，HDDに搭載される磁気ディスクの低価格化が強く望まれている．そのため，磁気ディスクガラス基板の研磨加工に対して，極めて高い加工能率が求められるようになった．そこで本研究では，スエード研磨パッドの表面状態に着目し，加工能率に影響を及ぼす要因を検討した．その結果，ガラス基板を高能率で研磨加工することができたので報告する．

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390282680633018880
  • NII Article ID
    130005031178
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.311.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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