研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Improvement of Finishing Efficiency Considering Contact Behavior of Polishing Pad with Workpiece Surface
説明
昨今のハードディスクドライブ(HDD)の市場拡大にともない,HDDに搭載される磁気ディスクの低価格化が強く望まれている.そのため,磁気ディスクガラス基板の研磨加工に対して,極めて高い加工能率が求められるようになった.そこで本研究では,スエード研磨パッドの表面状態に着目し,加工能率に影響を及ぼす要因を検討した.その結果,ガラス基板を高能率で研磨加工することができたので報告する.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2012S (0), 311-312, 2012
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680633018880
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- NII論文ID
- 130005031178
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可