革新的“plasma fusion CMP装置”の設計・試作（第7報）

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タイトル別名
  • “plasma fusion CMP装置”（B型）による加工メカニズムの検討

抄録

難加工材料の高能率・高品位加工をめざし”plasma fusion CMP装置”（B型）を設計・試作し、CMPとP-CVMの同時融合加工から、高能率な加工結果を報告してきた。本報は、更なる高能率加工を追求し、SiC基板を主加工対象として、フッ素プラズマによる融合加工と、酸素プラズマによる表面酸化優勢な支援加工について、加工速度と表面粗さに着目し比較検討した。その結果、融合加工において支援加工を凌ぐ高能率・高品位加工が出来ることを見出した。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390282680634028800
  • NII論文ID
    130005486374
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2015s.0_527
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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