デュアル光コム分光法を用いた分光エリプソメトリーの開発

南川 丈夫, 謝 宜達, 澁谷 九輝, 長谷 栄治, 兼岡 良樹, 大久保 章, 稲場 肇, 水谷 康弘, 山本 裕紹, 岩田 哲郎, 安井 武史

doi:10.11522/pscjspe.2017a.0_981

デュアル光コム分光法を用いた分光エリプソメトリーの開発

DOI

南川丈夫

徳島大　大学院社会産業理工学研究部
謝宜達

徳島大　大学院社会産業理工学研究部
澁谷九輝

徳島大　大学院先端技術科学教育部
長谷栄治

高輝度光科学研究セ　利用促進部門バイオ・ソフトマテリアルグループ
兼岡良樹

徳島大　大学院先端技術科学教育部
大久保章

産総研　計量標準総合センタ
稲場肇

産総研　計量標準総合センタ
水谷康弘

大阪大　大学院工学研究科
山本裕紹

宇都宮大　オプティクス教育研究センター
岩田哲郎

徳島大　大学院社会産業理工学研究部
安井武史

徳島大　大学院社会産業理工学研究部

書誌事項

タイトル別名

Development of spectroscopic ellipsometry with dual-optical-comb spectroscopy

説明

本研究では，デュアルコム分光法を援用した新たな分光エリプソメトリーの開発を行った．デュアルコム分光法は，精密に周波数が定まった櫛の歯状の超離散的マルチスペクトル構造を持つ光コムの特徴を利用した分光法である．これにより，偏光や位相変調のための機械的走査を必要とせず，短い測定時間で広波長域を高い波長確度・分解能で計測可能な新たな分光エリプソメトリーを実現した．