書誌事項
- タイトル別名
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- 1003 Polishing Characteristics of Difficult-to-machine Materials Under Various Gas Conditions Controlled by High Pressure Chamber Type CMP Machine : Evaluation of Polishing Characteristics Using Elemental Analysis
収録刊行物
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- 日本機械学会九州支部講演論文集
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日本機械学会九州支部講演論文集 2013.66 (0), 319-320, 2013
一般社団法人 日本機械学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680843299840
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- NII論文ID
- 110009961617
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- ISSN
- 24242780
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles