書誌事項
- タイトル別名
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- C33 Improvement of global flatness and site flatness near wafer edge in polishing of silicon wafer
抄録
For increasing the integration density of semiconductor devices, there is growing demand for achieving high global flatness and site flatness especially near the wafer edge in polishing of silicon wafers. In this study, polishing conditions in double-sided polishing process were optimized to uniform material removal distribution on wafer and polishing pad properties for decreasing edge roll off were investigated.
収録刊行物
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- 生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会
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生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2014.10 (0), 181-182, 2014
一般社団法人 日本機械学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282680877713536
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- NII論文ID
- 110009939355
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- ISSN
- 24243094
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可