高真空でのシリコンエピタキシアル成長 : 結晶生長
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- 南日 康夫
- 日電研
Journal
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- Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan
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Meeting Abstracts of the Physical Society of Japan 1964.2 (0), 116-, 1964
The Physical Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681190969216
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- NII Article ID
- 110002041602
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- ISSN
- 24331120
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles