高真空でのシリコンエピタキシアル成長 : 結晶生長
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- 南日 康夫
- 日電研
収録刊行物
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- 日本物理学会春季分科会講演予稿集
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日本物理学会春季分科会講演予稿集 1964.2 (0), 116-, 1964
一般社団法人 日本物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282681190969216
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- NII論文ID
- 110002041602
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- ISSN
- 24331120
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles