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- 菊地 克弥
- 国立研究開発法人産業技術総合研究所
書誌事項
- タイトル別名
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- R&D of 3D-IC Technology for the AI·IoT Era
- AI ・ IoT ジダイ ニ ムケタ サンジゲン シュウセキ ジッソウ ギジュツ ノ ケンキュウ カイハツ
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説明
<p>3D integration is one of the most important technologies for developing new-generation electronics devices. In this article, it is reported R&D of 3D integration for contributing to the AI·IoT era.</p>
収録刊行物
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- 表面と真空
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表面と真空 62 (11), 666-671, 2019-11-10
公益社団法人 日本表面真空学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390282752368019712
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- NII論文ID
- 130007743437
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- NII書誌ID
- AA12808657
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- ISSN
- 24335843
- 24335835
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- NDL書誌ID
- 030112624
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可