X線モノクロメータ用Ge単結晶に対する大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングの加工特性評価

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抄録

<p>SPring-8のような大型放射光施設では，X線のバンドパスフィルターとして主にSi結晶モノクロメータが利用されている．一方，GeはSiと比較して格子定数が大きく，(111)面によるX線回折のエネルギー幅が約2.5倍であるため，より高強度な準単色X線が利用可能になる．そこで，大気圧プラズマを用いた無歪みエッチングのGe結晶に対する加工特性を評価し，実用に足る高品質X線反射面の形成に向けた実現可能性を検討した．</p>

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  • CRID
    1390282763101375488
  • NII論文ID
    130007602882
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2018a.0_667
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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