RF酸素プラズマ照射を特長とした併用式スパッタ法によるTa2O5固体電解質薄膜の作製

書誌事項

タイトル別名
  • Preparation of Ta2O5 solid electrolyte thin film by a combination sputtering method with radio-frequency oxygen plasma irradiation
  • RF サンソ プラズマ ショウシャ オ トクチョウ ト シタ ヘイヨウシキ スパッタホウ ニ ヨル Ta ₂ O ₅ コタイ デンカイシツ ハクマク ノ サクセイ

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