書誌事項
- タイトル別名
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- Preparation of Ta2O5 solid electrolyte thin film by a combination sputtering method with radio-frequency oxygen plasma irradiation
- RF サンソ プラズマ ショウシャ オ トクチョウ ト シタ ヘイヨウシキ スパッタホウ ニ ヨル Ta ₂ O ₅ コタイ デンカイシツ ハクマク ノ サクセイ
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収録刊行物
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- 都城工業高等専門学校研究報告
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都城工業高等専門学校研究報告 46 (0), 23-32, 2012
独立行政法人 国立高等専門学校機構 都城工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390283659866262272
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- NII論文ID
- 110008895946
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- NII書誌ID
- AN00235996
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- ISSN
- 0286116X
- 24321036
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- NDL書誌ID
- 023557475
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles