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- INOUE Soichi
- Kioxia Corporation
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- SAKURAI Junpei
- 名古屋大学
Bibliographic Information
- Other Title
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- 光リソグラフィの解像度の限界解像度を超えるナノインプリント技術開発
- Gravure & Interview セイミツ コウガク ノ サイゼンセン ヒカリ リソグラフィ ノ カイゾウド ノ ゲンカイ カイゾウド オ コエル ナノインプリント ギジュツ カイハツ : キオクシア カブシキ ガイシャ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 86 (4), 239-242, 2020-04-05
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390283659869208064
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- NII Article ID
- 130007828804
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 030402265
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL Search
- Crossref
- CiNii Articles