自己組織的に形成したAgナノワイヤをテンプレートとしたSi表面上へのナノ溝形成
書誌事項
- タイトル別名
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- Formation of nano grooves on Si surfaces using self-assembled Ag nanowires as a template
抄録
<p>我々は、異なる二種類のウェットエッチングを複合的に用い、Si表面にナノメートル幅の溝構造を自己組織的に作製し、隣り合うテラス部を分離することを目的とした研究を進めている。具体的には、まず、微傾斜角を有するSi (111)表面に異方性エッチングを施して、テラスと原子ステップから成るステップ／テラス構造を作製する。次に、テラスの端部（エッジ部）へ自己組織的にAg原子を吸着させる。続いて、形成したAgナノワイヤをテンプレートとして、金属アシストエッチングを施し、Siウエハの全域で、平行・並列型の溝構造を形成する。本研究では、提案する上記のウェットシーケンスにおける、各プロセス後のSi表面の構造を原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscopy : AFM)により、ナノスケール領域で調査した結果について報告する。</p>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2021S (0), 836-837, 2021-03-03
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390289254684763520
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- NII論文ID
- 130008084249
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可