ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上へのAlNのMOVPE成長
書誌事項
- タイトル別名
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- MOVPE Growth of AlN on Annealed Sputtered AlN Templates with Nano Pattern
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 2098-2098, 2020-08-26
公益社団法人 応用物理学会