ナノパターンを有するスパッタ・アニール法AlNテンプレート上へのAlNのMOVPE成長

DOI

書誌事項

タイトル別名
  • MOVPE Growth of AlN on Annealed Sputtered AlN Templates with Nano Pattern

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ