TiNバッファ層を用いたSi基板上へのAl<sub>1-x</sub>Sc<sub>x</sub>N薄膜のエピタキシャル成長
書誌事項
- タイトル別名
-
- Epitaxial growth of Al<sub>1-x</sub>Sc<sub>x</sub>N thin films on Si substrates using TiN buffer layer
収録刊行物
-
- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
-
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2021.1 (0), 1189-1189, 2021-02-26
公益社団法人 応用物理学会