ZrO<sub>2</sub> /AlN積層導波路を用いた深紫外第二高調波発生デバイスの設計
書誌事項
- タイトル別名
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- Design of Deep UV Second Harmonic Generation Device with ZrO<sub>2</sub>/AlN Multilayer Waveguide
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2018.1 (0), 3522-3522, 2018-03-05
公益社団法人 応用物理学会