中性粒子ビームエッチング技術を用いたSi量子ドットの作製と熱伝導特性
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of Si quantum dots using Neutral Beam Etching and its Thermal characteristics
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.2 (0), 1783-1783, 2015-08-31
公益社団法人 応用物理学会
