ウェットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of high-quality AlN buffer layer for deep-UV LEDs grown on wet chemical etched patterned sapphire substrate
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2015.1 (0), 3337-3337, 2015-02-26
公益社団法人 応用物理学会
