C<sub>n</sub>H<sub>2n+1</sub><sup>+</sup>イオンビームを照射したシリコン基板の照射損傷評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Irradiation Damage on Silicon Surfaces of C<sub>n</sub>H<sub>2n+1</sub><sup>+</sup> Polyatomic Ion Beams
収録刊行物
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- 応用物理学会学術講演会講演予稿集
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 2014.2 (0), 1481-1481, 2014-09-01
公益社団法人 応用物理学会