特集「ドライ真空ポンプの最新動向」企画趣旨

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書誌事項

タイトル別名
  • Special Issue “The Latest Trend of Dry Vacuum Pumps”

抄録

<p>This special feature focuses on the latest trends in the dry vacuum pump industry. One comprehensive report along with 5 technical introductions will enhance the knowledge of users and manufactures of the dry vacuum pumps.</p>

収録刊行物

  • 表面と真空

    表面と真空 67 (4), 154-155, 2024-04-10

    公益社団法人 日本表面真空学会

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