波長選択励起金ナノ粒子プラズモンによるシリコンのラジカル窒化

DOI

北嶋武

防大電気
三宅万智子

防大電気
桑田渉真

防大電気
中野俊樹

防大電気

書誌事項

タイトル別名

Radical nitridation of silicon by wavelength-selectively excited gold nanoparticle plasmons

収録刊行物

応用物理学会学術講演会講演予稿集

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2020.2 (0), 1145-1145, 2020-08-26

公益社団法人応用物理学会

キーワード

詳細情報詳細情報について

CRID

1390573407661307392
DOI

10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_1145
ISSN

24367613
本文言語コード

ja
データソース種別
- JaLC

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